SINOVAC 新能源半导体新材料真空清扫系统除尘设计CVE
基础版: 工业级无尘真空清扫系统 - 专为新能源/新材料/半导体设计
洁净度: 超高洁净度 (Class X) 真空清扫系统 - 新能源电池/半导体晶圆/新材料生产环境专用
防爆/安全: ATEX/防爆型无尘真空清扫系统 - 严苛新能源与新材料环境解决方案
多功能: 多功能工业级洁净清扫系统 - 满足新能源、新材料、半导体无尘车间需求
[SINOVAC] CVE920真空吸尘系统 (用于新能源/新材料/半导体)
无与伦比的洁净度:
采用HEPA H14 / ULPA U15/U17 高效过滤器,过滤效率 >99.995% @ 0.3μm / >99.9995% @ 0.12μm。
超低泄漏率设计,确保无二次污染。
过滤器完整性测试便捷接口/功能。
材料符合SEMI F72 (无硅) 或其他特定洁净室材料标准。
卓越的安全性能 (尤其新能源):
本质安全设计,适用于 Zone 21/22 (ATEX) 或 Class II Division 2 (NEC) 等防爆区域。
防静电设计:导电软管、导电过滤器、接地装置,有效防止静电放电火花。
无火花风机/电机。
密闭系统,防止有害/易燃粉尘外泄。
优异的材料兼容性与耐化学性:
接触介质部件 (桶身、软管、吸头、过滤器壳体) 采用316L不锈钢、PTFE涂层、特定耐化学塑料,抵抗酸碱溶剂腐蚀。
针对新材料特殊粉末 (如碳纳米管、金属粉末) 的吸附优化。
高效过滤与粉尘管理:
自动/手动脉冲反吹清灰系统,延长过滤器寿命。
大容量快开式集尘桶,带密封圈,倾倒/更换方便。
旋风分离预过滤 (可选),减轻主过滤器负担,适用于高粉尘负载。
压差监控,提示过滤器更换。
智能控制与用户友好:
变频控制,按需调节风量风压,节能降噪。
触摸屏控制面板,显示运行参数 (风量、负压、压差、运行时间)、报警信息。
远程监控/控制接口 (RS485, Ethernet, IoT)。
低噪音设计,符合洁净室环境要求。
轻量化设计/移动灵活性 (如带刹车万向轮)。
可靠性与耐用性:
工业级电机与部件,长寿命设计。
易于维护保养。
符合相关工业安全与电气安全标准。
SINOVAC 新能源半导体新材料真空清扫系统除尘设计CVE